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李志坚
李志坚,我国著名
微电子专家,1928年5月1日生于浙江宁波,清华大学微电子所教授,信息科学与技术学院学术委员会主任。1951年浙江
大学物理系毕业,1958年获前苏联列宁格勒大学科学副博士学位,曾长期任清华大学微电子学研究所所长。1991年被选
为中国科学院院士。现任中国电子学会副理事长和半导体与集成技术学会副会长。
李志坚教授1953年开始半导体物理研究,曾成功地提出薄膜光导体的晶粒电子势垒理论。
他对中国早期硅器件技术的发展做出了重要贡献。1965年起他开始集成电路的研究,并领导开发研制成功CMOS工艺及存储
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器、CPU等超大规模集成电路。
90年代以来他致力于硅系统集成芯片技术的研究和开发,并成功地开展了微机械(MEMS)
的研究。李志坚院士多次获国家奖励,并荣获1997年度陈嘉庚信息科学奖和2000年度何梁何利基金科学与技术进步奖。
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